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半導(dǎo)體材料技術(shù)介紹
隨著太陽(yáng)能光伏和集成電路行業(yè)的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體材料(硅、砷化鎵等)得到廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體圓在切片、研磨、倒角、拋光、清洗等加工過(guò)程中,產(chǎn)生了大量的切割廢液和研磨廢液。 久吾高科提供一種集成的回收工藝,利用(無(wú)機(jī)陶瓷)膜的篩分作用,對(duì)廢液中的材料碎末和水進(jìn)行物理分離,廢液經(jīng)過(guò)過(guò)濾凈化后重新返回切片或研磨工段,碎末脫水后壓縮成餅。最終,廢液中的材料碎末和水分得到分項(xiàng)回收,沒(méi)有任何排放。
工藝流程圖
工藝優(yōu)勢(shì)
1. 物理分離
物理分離不引入雜質(zhì),不對(duì)材料純度造成影響
2. 無(wú)二次污染
環(huán)境整潔,操作方便,精益生產(chǎn),無(wú)二次污染
3. 運(yùn)行穩(wěn)定
技術(shù)先進(jìn)成熟,運(yùn)行穩(wěn)定
4. 壽命長(zhǎng)
關(guān)鍵元件的壽命長(zhǎng),總體費(fèi)用低
5. 節(jié)省空間
占地空間小,自動(dòng)化程度高
6. 模塊化設(shè)計(jì)
模塊化設(shè)計(jì),易擴(kuò)容升級(jí)改造
項(xiàng)目展示
硅廢液預(yù)處理系統(tǒng)
硅廢液回收陶瓷膜系統(tǒng)
硅廢液回收陶瓷膜系統(tǒng)
壓濾機(jī)系統(tǒng)
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